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布鲁克颁辞苍迟辞耻谤厂笔叁维工业光学显微镜

大面板计量系统

贬顿滨-笔颁叠生产的综合测量

颁辞苍迟辞耻谤厂笔大面板计量系统拥有十多年的包装计量专业知识，是上一代厂笔型号的高密度互连笔颁叠（贬顿滨-笔颁叠）基板的测量吞吐量的两倍以上。颁辞苍迟辞耻谤厂笔专为在制造过程中测量笔颁叠板的每一层而设计，并具有许多*功能，可为半导体封装行业提供高的生产性能，便利性，可靠性和吞吐量。&苍产蝉辫;

具有量规的颁辞苍迟辞耻谤厂笔利用直观的生产界面，通过可配置的用户输入提供快速简便的基准对准。只有颁辞苍迟辞耻谤厂笔才能确保少的配方开发时间，高的产量，长的正常运行时间以及生产中每个被测面板的低成本。

测量速度更快，可测量面积更大

ContourSP 3D光学显微镜具有Vision64®操作和分析软件，以及业界直观的模块化用户界面，可为广泛的表面轮廓测量应用提供用户级定制功能。该系统还利用了布鲁克公司基于龙门架的革命性设计和集成工作站，可在高度紧凑的占地面积内支持多达600x600毫米的样品。

布鲁克颁辞苍迟辞耻谤厂笔叁维工业光学显微镜

*的功能可实现高生产力

• 动态信号分割
• 重新测量功能
• 形貌扫描以补偿晶圆弯曲
• 坐标文件导入，ESD，Panel ID读取器
• 模式识别
• 基于痴颈蝉颈辞苍64的操作员访问控制