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品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 能源,电子,汽车,电气 |
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碍翱厂础碍础台阶仪贰罢10000薄膜测厚仪产物概述:
● 针对生产线全自动大型工件开发,可搭配机械手臂自动进退样品。
&苍产蝉辫;高精度.安定性.机能性适合于贵笔顿基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。
● 是多机能的全自动微细形状测定机,针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。
● ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。
● ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。
● ET4300一适合12"样品测量。
台阶仪/膜厚仪贰罢4000系列产物参数
碍翱厂础碍础台阶仪ET10000薄膜测厚仪产物概述:
重现性 | 1σ 1nm |
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测定范围 | Z:100um |
分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
测定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
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